英�？礗NFICON氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)出現(xiàn)故障解決辦法
1、不向細(xì)檢方式轉(zhuǎn)換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說明氦質(zhì)譜檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關(guān)切換到自動(dòng)轉(zhuǎn)換狀態(tài)。
2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測壓力，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時(shí)再檢漏;如果壓力達(dá)到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。
3、氦本底太高。檢查機(jī)械泵油是否失效(泵油長期使用變質(zhì)會(huì)吸附較多的氦氣，導(dǎo)致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規(guī)上壓力是否達(dá)到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題，如果有多臺氦質(zhì)譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風(fēng)不好時(shí)，致使氦氣擴(kuò)散慢，也會(huì)導(dǎo)致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個(gè)幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環(huán)境的氦污染。
4、工裝設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致檢漏通不過。初檢時(shí)工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過;加死堵氦質(zhì)譜檢漏儀不漏，工作正常。這是因?yàn)楣ぱb設(shè)計(jì)不合理所致，比如工裝結(jié)構(gòu)不合理，內(nèi)表面太粗糙，導(dǎo)致過多的氦氣殘留;或者密封設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致密封不可靠(由于工裝設(shè)計(jì)人員對專業(yè)真空設(shè)計(jì)不熟悉)。
5、操作不合理導(dǎo)致故障。如工作中，有一個(gè)大漏的工件，由于操作人員判斷錯(cuò)誤，不認(rèn)為工件漏，而去檢查工裝的連接或者氦質(zhì)譜檢漏儀，多次對這一工件檢漏。這樣就會(huì)發(fā)現(xiàn)，所有工件都不過。原因是大漏的工件經(jīng)多次檢漏后，有大量的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室污染。解決的辦法是，清理質(zhì)譜室，反復(fù)吸氣排氣。
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